planarna tehnologija

planarna tehnologija (engl. planar technology; njem. Planartechnik; rus. планарная технология), osnovna tehnologija proizvodnje poluvodičkih diskretnih tranzistora i integriranih sklopova na siliciju. Zasniva se na mogućnosti stvaranja iznimno stabilna dioksida na siliciju, koji ga štiti odonečišćenja, a istodobno je maska pri difuziji primjesa u oblikovanju tranzistora. Istodobno se može proizvoditi mnogo tranzistora ili sklopova na jednoj pločici poluvodičkoga kristala (tzv. vaferu). Razvio ju je J. A. Hoerni.