fotolitografija

fotolitografija (engl. photolithography; njem. Fotolithografie; rus. фотолитография), prijenos nacrta maskâ na površinu poluvodičke strukture. Površina se prekriva fotoosjetljivim slojem (→ fotorezist) koji se zatim selektivno izlaže ultraljubičastomu zračenju. Ozračeni dijelovi nakon termičke obradbe postaju otporni na djelovanje određenoga otapala. S neozračenih se dijelova fotoosjetljivi sloj uklanja otapalom. Tako se na površini poluvodičke strukture oblikuju otvori potrebni za daljnju obradbu. Za izradbu finijih struktura, u poluvodičkoj se tehnologiji fotolitografija zamjenjuje litografijom s elektronskim snopom ili rendgenskim zračenjem.