peć, difuzijska

peć, difuzijska (engl. diffusion furnace; njem. Diffusionsofen; rus. диффузионная печь), uređaj u kojem se na visokoj temperaturi provodi difuzija primjesa u poluvodič ili oksidacija površine poluvodiča. Sastoji se od jedne cijevi ili više njih, u koje se stavljaju poluvodičke pločice i dovodi mješavina plinova za difuziju (→ difuzijski postupak) ili kisik za oksidaciju. Prostorna raspodjela temperature mora biti jednolika, a vremenska raspodjela stalna tijekom cijeloga difuzijskoga postupka.