difuzijski postupak

difuzijski postupak (engl. diffusion process; njem. Diffusionsprozess; rus. диффузионный процесс), visokotemperaturni postupak kojim se u poluvodič unose primjesni atomi, tako da zamjenjuju matične atome. Osnova je proizvodnje poluvodičkih komponenata i integriranih sklopova. Poluvodičke se pločice u difuzijskoj peći izlažu atmosferi s nekim primjesnim spojem. Taj se spoj kemijski razlaže, a primjesni se atomi talože na površinu pločice, te u nju difundiraju. Zbog visoke temperature (800...1200 °C), primjesni su atomi dovoljno pokretljivi, tako da u vremenu od nekoliko minuta do nekoliko sati difundiraju duboko od nekoliko desetina mikrometra do nekoliko desetaka mikrometara. Obično difundiraju kroz otvor u sloju silicijeva dioksida, koji je prethodno napravljen fotolitografskim postupkom. Raspodjela je primjesa nehomogena. Najveća koncentracija primjesa koja se može postići ograničena je topljivošću primjesa. → fotolitografija,  → maska, → peć, difuzijska