monolitna tehnologija

monolitna tehnologija (engl. monolithic technology process; njem. monolithische Herstellungstechnologie; rus. монолитная технология), proizvodnja poluvodičkih komponenata i sklopova na jednoj zajedničkoj poluvodičkoj pločici. Osnovni su postupci: rast monokristala, rezanje monokristala u pločice, mehanička i kem. obradba pločica, → epitaksija, oksidacija (→ silika-gel), → fotolitografija, → difuzija, → ionska implantacija, nanošenje vodljivih slojeva, naknadna mehanička obradba pločice (brušenje, rezanje), te inkapsulacija. → hibridna tehnologija